福厦泉自创区协同创新平台项目推进会暨泛半导体产业计量测试技术推介会在厦门召开

5月14日，福厦泉自创区协同创新平台项目推进会暨泛半导体产业计量测试技术推介会在厦门市海沧区集成电路设计产业园成功举办。本次活动由厦门市计量检定测试院（以下简称厦门市计量院）与中国科学院海西研究院泉州装备制造研究中心（以下简称“泉州装备中心”）联合主办，厦门市集成电路行业协会、厦门市检验检测认证协会、厦门市计量测试学会、海沧区IC设计公共技术服务平台协办。厦门市市场监督管理局党组成员、药品安全总监何清杭，中国科学院海西研究院纪委书记于申，厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院院长、新加坡工程院院士洪明辉出席活动并致辞。厦门市市场监管局计量处、海沧区市场监管局、厦门市计量院、泉州装备中心负责人，以及泛半导体领域40余家高校、科研机构、企业代表参加活动。

厦门市市场监管局何清杭总监肯定推进会的召开时机好、地点好、人气好，在“5·20”世界计量日前夕恰逢其势、正当其时，并对项目合作寄予三点希望，即政府搭好台，发挥引导作用，技术机构写好剧，发挥好支撑作用，企业唱好戏，发挥好主体作用。

中国科学院海西研究院于申纪委书记表示平台项目聚焦多模态融合光学检测技术等泛半导体核心技术攻关，通过协同创新、优势互补，可加速成果转化和产业应用，强化高水平技术支撑与科技赋能，为产业高质量发展注入计量动能。

厦门大学萨本栋研究院院长洪明辉院士认为计量测试是产业高质量发展的“基石”，是突破技术瓶颈的“标尺”，更是协同创新的“纽带”，平台的建设很有必要，并希望强化产学研用深度融合，注重人才培养与互通，加强国际合作与交流。

当前，泛半导体产业已成为推动新一轮科技革命和产业升级的核心引擎，产业链的精密化、集成化、高端化趋势，对计量测试技术提出了更高要求，特别是高精密检测与评价技术，从材料特性分析到工艺参数控制，从芯片性能检测到设备精度优化，每一个环节都离不开计量技术的支撑。泛半导体产业作为厦门市全力推动建设“4+4+6”现代化产业体系的关键一环，产业规模持续扩大、产业链条日趋完善。然而，计量测试技术未能跟上产业的快速发展，计量痛点日益凸显，高端计量测试设备长期依赖进口，成本高、维护难，高水平就近服务能力不足。为此，2024年，厦门市计量院与泉州装备中心联合申报“福厦泉国家自主创新示范区泛半导体领域高精密检测协同创新平台项目”，并获福建省科技厅立项，项目围绕材料、器件及装备等全链条检测需求，研究纳米级尺寸计量、缺陷与可靠性评价、智能化检测装备国产化等产业计量难点，破解技术瓶颈，推动产业高质量发展。

本次活动聚焦半导体产业计量测试技术发展，旨在构建“政产学研检用”全产业链、全溯源链、全寿命周期和前瞻性计量测试服务体系。在与会嘉宾的见证下，厦门市计量院与泉州装备中心进行战略合作协议签约，共同打造协同创新平台。未来，协同创新平台的高精密检测与评价技术成果可直接应用于本地泛半导体企业的研发、生产和制造环节，帮助企业提升产品质量和生产效率，突破高端芯片制造、先进封装测试等关键环节的计量技术瓶颈；同时，通过产学研深度合作，培养一批既有深厚计量理论功底又具备丰富产业实践经验的复合型技术人才，为产业持续发展提供人才保障。

会上，洪明辉院士、泉州装备中心韩军研究员、新加坡先进再制造技术中心程方教授分别做了专题分享，从学术前沿到产业应用，为参会代表带来了检测技术的国际化视野和技术洞见。此外，厦门市计量院长度科科长郑伟峰博士介绍了协同创新平台的建设背景与未来规划，厦门市讯芯电子科技有限公司总经理林海军分享了企业计量技术应用经验，厦门市计量院电学科科长阮育娇博士作泛半导体计量测试情况报告。

据了解，协同创新平台项目立项以来厦门市计量院发挥技术、人才优势，为我市光电显示、半导体与集成电路等产业企业共享高精尖检测设备，助力企业降本增效，提供专业技术服务，解决了多项难题。利用工业CT为企业提供产品内部缺陷筛查、内部尺寸测量、孔隙率检测等无损检测，节约企业研发测试成本120万元，有效降低企业创新门槛； 选派计量技术特派员驻企帮扶，定制灰阶响应自动化测试方案，检测效率提升12倍；研发专用检测设备、创新校准方法，计量成本降低6成；推广先进原材料筛选技术，助力产品良率提升10%，显著增强企业质量管控能力。（通讯员：陈浩、郑伟峰、陈金）