关键技术突破！福建填补一项微振动计量领域空白

高精度微振动传感器凭借超高加速度灵敏度、超高测量分辨率、超低本底噪声、优越的抗射频和电磁干扰性能，广泛应用于航空航天、半导体工业、地震监测、超精密测量与超微细加工等重点领域的微振动控制和测试中。随着我国高端装备与精密探测技术的快速发展，各行业对微振动的测试和控制提出微g、甚至纳g级别的要求。但长期以来，微g级振动加速度难以实现精准量值溯源，成为制约国内高分辨率微振动传感器国产化、微振动精密测量技术发展的关键瓶颈之一。

针对微振动计量中行业痛点与技术难点，福建省计量院组织振动计量科研团队开展了微加速度激励、微加速度测量和隔振等关键技术研究。研制出一套“微g级振动加速度标准装置”，包括电磁式微加速度发生装置、激光干涉法微加速度测量系统和空气弹簧隔振装置，实现了在2Hz~200Hz频率范围、5μg~50mg加速度幅值范围内对高灵敏度微振动传感器的绝对校准和比较法校准，为高精度微振动传感器的动态校准提供溯源方法与技术支撑。

项目完成了“微振动计量标准装置”研究与建立，填补了振动计量领域在微g级加速度溯源能力的空白。同时，项目形成的成熟技术路线，也为后续新一代微振动计量标准、乃至微振动国家基准的建设，提供了可落地、可借鉴的技术方案，并为航空航天、半导体、高端装备等战略性产业的高质量发展筑牢计量技术根基，助力高端制造产业提质增效、自主可控发展。