省计量院精准计量赋能高端装备自主创新

在“双碳”目标驱动下，光伏产业加速向高效技术迭代。福建金石能源自主研发的GW级PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备，作为BC（背接触）电池生产的核心装备，其成功研发标志着国产光伏装备的重大突破。福建金石能源完成研发制造后，亟需通过权威技术验证以申报“第五批能源领域首台（套）重大技术装备”，但设备关键参数的精准测量成为制约申报进度的关键瓶颈。省计量院（国家光伏产业计量测试中心）立足产业升级需求，以计量技术创新为突破口，为国产高端装备的产业化应用提供关键支撑。

技术突破与创新实践

1. 高精度椭偏仪精准溯源

针对纳米级薄膜厚度的精密测量需求，省计量院技术团队选用高精度椭偏仪作为核心检测设备。通过系统化应用硅-二氧化硅薄膜标准样片（覆盖多厚度梯度），对椭偏仪的光学参数进行校准修正，逐步建立测量值与标准值之间的精确映射关系，确保纳米级膜厚数据的可溯源性。这一校准成果不仅验证了设备的测量精度，更为后续工艺参数的全面测试提供了可靠的技术基础。

2. 多维度膜厚均匀性解析

技术团队创新构建"微观-局部-宏观"递进式测量方法，系统化验证设备工艺一致性。在微观尺度检测阶段，选取样片多个关键典型区域，布设检测网格，采用高精度椭偏仪进行纳米级逐点测量，精准捕捉样片内部膜厚波动，揭示微观工艺稳定性。在局部区域分析环节，对单个载板实施矩阵化布点，分析空间分布数据，量化载板级工艺均匀性，验证设备在局部区域的工艺控制能力。最终通过多载板连续运行测试，统计批次膜厚均值极差，全面评估设备在连续作业下的宏观稳定性表现。

成效

省计量院通过精准计量技术服务，建立了覆盖光学、长度、时间等多领域的核心参数的完整检测方法，并形成权威的测试报告。有效助力企业高效完成“第五批能源领域首台（套）重大技术装备”申报，为光伏设备国产化进程提供有力技术支撑。

在“双碳”目标引领的能源变革浪潮中，省计量院通过本次技术服务实践，探索出一条“需求牵引-技术攻坚-产业赋能”的计量服务新路径。面对GW级PECVD设备这一国产高端装备的检测难题，技术团队立足产业需求，协同攻关，以科学、严谨的测试数据为国产装备的技术性能提供权威佐证，为光伏产业技术升级注入新动能。